DLC Coating SystemMF720
新開発のフィルタードアーク蒸発源（ＭＦＡ蒸発源）を搭載した
平滑厚膜ＤＬＣ専用装置です。
アドバンスコーティングシステムMF720はMFA蒸発源によってマクロパーティクルの非常に少ない平滑な水素フリーＤＬＣ膜が形成でき、かつ生産性にも優れています。
- 2021年6月に発売開始。
- 平滑なDLC膜が最大で20μm成膜可能。
- 優れた蒸発源のメンテナンス性。
- 大型チャンバーを採用した優れた生産性。
標準仕様
| MF720 | |||
|---|---|---|---|
| 推奨コーティングゾーン | φ720xH750[mm] | 蒸発源数 | MFA蒸発源 5源 |
| 付属治具テーブル | 12軸自公転治具 | 成膜方式 | 陰極アーク式イオンプレーティング |
| 基材エッチング方式 | ガスボンバード、メタルボンバード | 対応蒸発源ユニット | MFA蒸発源、スパッタ蒸発源 |
| 扉数 | 2ドア | ガス系統 | 標準2系統 |
| ヒーター | 標準装備 | 温度モニター | 標準装備（熱電対計測2か所） |
| 主排気ポンプ | ターボ分子ポンプ | 推奨設置スペース | W5000×D7000×H3000mm[mm] |
| 重量 | 装置本体 約4.2t 電源制御盤 約2.3t |
オプション | - |
蒸発源対応実績表
| 装置＼蒸発源 | 2S蒸発源 | 2SD蒸発源 | 3S蒸発源 | 薄型3S蒸発源 | ステアワン蒸発源 | MFA蒸発源 | スパッタ源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MF720 | 〇 | × | × | × | × | 〇 | 〇 |
アフターサポート
お客様にご購入いただいた装置が常に安定稼働し性能を維持できるよう、点検診断・パーツ交換・出張対応・オーバーホール等のサポートを提供しています。
- リモートサポート対応
- オンサイトサポート対応
- 代替機貸し出しサービス
- 技術サポート
- 定期点検、オーバーホールPDF
- センドバックオーバーホール
オプション
お客様の要望に応じた、様々なオプション機能を準備しております。
例えばお客様の基材に合った治具の製作、 お客様の要望に応えた装置の改造等、装置をご購入される際、ご購入された後もお気軽にお声がけください。
- アラームメール送信機能
- リモート監視機能
- リモート診断
ITFファインコーティング装置のアドバンテージ
当社は1985年からアーク放電を利用した成膜装置の開発に取り組んできました。当社技術の根源である高電圧技術・真空技術を基礎として、長年の研究開発によって生み出された技術を適用し、膜の平滑性をはじめとする各種性能が高く、またコストパフォーマンスに優れた装置をご提供しています。
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膜の平滑性が優秀
生産性を維持した上で、アーク放電で見られるドロプレットの発生・付着を極力減らし、耐摩耗性の高い高品質な成膜ができます。
各種膜の成膜見本をご用意しておりますので、ご希望の方はお申込みいただければ送付させていただきます。
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リーズナブルな価格
当社製装置は、京都市の工場で、ISO9001システムの基、厳格な品質基準で１台１台製造しています。 主要パーツは全て日本製で製造の大部分を社内で実施し、またお客様との直接取引を基本とする事で他社よりもリーズナブルな価格で装置を提供できています。
