Mシリーズの特徴

セラミックス薄膜のコーティングによる表面改質に、独自のスムースコーティングテクノロジーを駆使した、優れた膜質と高い生産性を実現し、今まで多くの信頼を得てきた実績のある陰極アーク式イオンプレーティング装置です。

ショートサイクル

プラズマ密度の高いアーク方式により、高速処理と高い密着力を実現しました。多元系複合膜では、コンパクト設計された2SD蒸発源が威力を発揮し、ショートサイクル化と低コスト化を実現しました。

当社独自の技術により、高生産性を維持しながらドロップレットを抑えることに成功し、皮膜の平滑性・密着性・耐摩耗性等を飛躍的に向上しました。

当社独自のデュアルターゲット方式（2SD蒸発源）を採用することで、短時間で簡単に多彩な多元系複合膜や積層膜を成膜することが可能となりました。これによりユーザー独自の膜開発が容易になります。

最適化された装置構成とプロセスプログラムにより、短時間で膜厚均一性の優れた成膜が可能となります。ターゲット使用効率を高めることで低ランニングコストを実現しました。

ボタン一つで簡単に、真空排気⇒成膜⇒冷却⇒大気開放まで全自動処理が可能です。充実したデータ管理機能、自己診断機能で容易に運転管理ができます。アクセスしやすい2面大型扉を採用し、メンテナンスが容易になります。

長年の実績を集結して、高い信頼性と安全性を実現しました。また、将来蒸発源のバージョンアップ等にも柔軟に対応ができます。

蒸発源を中心に
トータルコントロール

ターゲット切替により、
積層膜を高速に

高磁場による再溶融化を実現

電磁コイルにより高磁場を生成し、アークによる蒸発金属を再溶融化してマクロパーティクルを微小化

膜種	TiN	TiCN	TiAlN	CrN	AlCrN	DLC
膜種	窒化チタン	炭窒化チタン	窒化チタンアルミ	窒化クロム	窒化アルミクロム	ダイヤモンドライクカーボン

色	金色	灰色～紫色	紫色	銀色	黒灰色	黒色
膜厚（μm）	2～4	2～4	2～4	2～4	2～4	0.1～20
ビッカース硬度(Hv25gf)	1800～2200	2000～3000	2000～3000	1200～2200	2000～2500	15～70 (GPa)
耐摩耗性	〇	◎高荷重滑り環境	◎高温切削環境	◎高荷重滑り環境	◎高温切削環境	◎すべり環境
耐熱性（℃）	600	500	800	800	900	450
処理温度（℃）	400～480	400～480	400～480	400～480	400～480	150～300
用途例	一般切削工具汎用金型	パンチ／ダイ摺動部品	高速切削工具高温金型	機械部品・エンジン部品 Crメッキ代替	高速切削工具高温金型	機械部品・エンジン部品切削工具
膜の特徴	汎用膜	低摩擦係数高硬度	高温耐酸化性	耐摩耗性耐熱性	高温耐酸化性	低摩擦係数高硬度