iDS®シリーズの特徴

アドバンスドコーティングシステム iDS®シリーズは、各コンポ―ネントを高性能化したことにより、今までにない低コスト短サイクル（当社従来比）のコーティング処理を可能とし、矩形フランジを使用することで、スパッタや他のプラズマ源への対応を可能とした次世代アークイオンプレーティング装置です。

ショートサイクル

排気コンダクタンスを最適化することにより真空排気速度を大幅に向上させ、従来装置よりサイクルタイムを短縮します。

多元素複合膜性能

回転テーブルのギヤ比を最適化することにより、丸棒上ワークに対して均一な多元素金属窒化膜の形成が可能です。

多彩な拡張性

矩形フランジの採用により、ステアワン蒸発源や従来型蒸発源、スパッタ蒸発源等の多様なプラズマ源の搭載が可能です。

低ランニングコスト

新型ステアワン蒸発源は回転磁石によりアークスポット制御し、ターゲットを均一消耗することでターゲットコストを抑えます。

高メンテナンス性

前後大型扉を採用し、チャンバー内部のメンテナンスアクセスが容易になるよう設計しています。

操作性

ボタン一つで動作チェック⇒真空排気⇒成膜⇒冷却⇒大気解放まで全自動処理を実施します。

iDS series 共通コンセプト

ステアワン「STEER-ONE」蒸発源

ステアワン蒸発源はφ160サイズのターゲットを採用し、独自の磁場配置とモーター駆動による磁場の回転でアークスポットを強制的にスキャンすることで、広範囲にターゲットを消耗させることを可能にしました。当社従来型蒸発源と比較し、同じ成膜条件において23％成膜速度が高く、広い放射角度に対応して広い範囲の成膜エリアをカバーする事が可能です。また、磁石の回転によってアークスポットが掃引されることで、ドロップレットが減少し、劇的な面粗度の向上を実現しました。

iDS®シリーズ装置ラインナップと標準仕様

	iDS-mini	iDS-500	iDS-720	iDS-1000

推奨コーティングゾーン	(1段仕様) φ450×H180[mm] (2段仕様) φ450×H420[mm]	φ500×H500[mm]	φ720×H800[mm]	φ1000×H1000[mm]
蒸発源数	3 units or 6 units	9units（標準）、12units（最大）	12units（標準）	12units（拡張可能)
付属治具テーブル	6軸公転治具	8軸自公転治具	12軸自公転治具	14軸自公転治具
成膜方式	陰極アーク式イオンプレーティング
基材エッチング方式	ガスボンバード、メタルボンバード
対応蒸発源ユニット	2S蒸発源、ステアワン蒸発源、スパッタ蒸発源
推奨設置スペース	W3500×D5200×H3000 [mm]	W5500×D6300×H3000 [mm]	W4500×D7000×H3000 [mm]	W6500×D8500×H3000 [mm]
重量	装置本体　約2.3t 電源制御盤　約2t	装置本体　約3.2t 電源制御盤　約2.1t	装置本体　約4.5t 電源制御盤　約2.3t	装置本体　約10.8t 電源制御盤　約2t
オプション	蒸発源シャッタースパッタ蒸発源	ダスト飛散防止ブース蒸発源シャッタースパッタ蒸発源	蒸発源シャッタースパッタ蒸発源	蒸発源シャッタースパッタ蒸発源

代表的なコーティング膜特性

膜種	TiN	TiCN	TiAlN	CrN	AlCrN	DLC
膜種	窒化チタン	炭窒化チタン	窒化チタンアルミ	窒化クロム	窒化アルミクロム	ダイヤモンドライクカーボン

色	金色	灰色～紫色	紫色	銀色	黒灰色	黒色
膜厚（μm）	2～4	2～4	2～4	2～4	2～4	0.1～20
ビッカース硬度(Hv25gf)	1800～2200	2000～3000	2000～3000	1200～2200	2000～2500	15～70 (GPa)
耐摩耗性	〇	◎高荷重滑り環境	◎高温切削環境	◎高荷重滑り環境	◎高温切削環境	◎すべり環境
耐熱性（℃）	600	500	800	800	900	450
処理温度（℃）	400～480	400～480	400～480	400～480	400～480	150～300
用途例	一般切削工具汎用金型	パンチ／ダイ摺動部品	高速切削工具高温金型	機械部品・エンジン部品 Crメッキ代替	高速切削工具高温金型	機械部品・エンジン部品切削工具
膜の特徴	汎用膜	低摩擦係数高硬度	高温耐酸化性	耐摩耗性耐熱性	高温耐酸化性	低摩擦係数高硬度