iDS®系列的特点

先进的涂层系统iDS®系列提高了每个组件的性能，实现了前所未有的低成本短周期（与传统设备相比）的涂层处理。该系列设备使用矩形法兰，可以安装溅射或其他等离子体源，是新一代电弧离子镀设备。

短周期

通过优化排气电导，大幅提高了真空排气速度，与传统设备相比缩短了作业周期时间。

多元素复合膜的特点

通过优化旋转工作台的齿轮比，可以在工件上形成均匀的多元素金属氮化膜。

多功能可扩展性

采用矩形法兰，可以安装各种等离子体源，例如STEER-ONE蒸发源、传统蒸发源、溅射蒸发源等。

运营成本低

通过旋转磁铁来控制STEER-ONE蒸发源的弧斑运动，均匀消耗靶材，降低靶材成本。

高效率维护保养

采用前后大型炉门，方便炉腔内部维护。

可操作性

只需一个按钮就可以轻松的进行动作检查 ⇒ 真空排气 ⇒ 成膜 ⇒ 冷却 ⇒ 大气开放的全自动处理。

iDS®系列的总体概念

STEER-ONE蒸发源

STEER-ONE蒸发源采用了φ160尺寸的靶材，通过独有的磁场排列和电机驱动磁场旋转强制控制弧斑，可以大范围消耗靶材。与我们传统的蒸发源相比，在相同的成膜条件下，成膜速度提高了23%，并且可以对应宽辐射角度，覆盖大范围的成膜区域。此外，磁铁旋转控制弧斑，减少了液滴的产生，显着改善了薄膜表面的粗糙度。

iDS®系列设备型号和标准规格

	iDS-mini	iDS-500	iDS-720	iDS-1000

推荐涂层区域	（1排规格）φ450 x H180 [mm] （2排规格）φ450 x H420 [mm]	φ500×H500[mm]	φ720×H800[mm]	φ1000×H1000[mm]
蒸发源数量	3个或6个	9个（标准），12个（最多）	12个（标准）	12个（可扩展）
附带台车	6轴公转夹具	8轴自公转夹具	12轴自公转夹具	14轴自公转夹具
成膜方法	阴极电弧离子镀
基材蚀刻法	气体轰击、金属轰击
可安装的蒸发源	2S蒸发源、STEER-ONE蒸发源、溅射蒸発源
推荐安装空间	W3500×D5200×H3000 [mm]	W5500×D6300×H3000 [mm]	W4500×D7000×H3000 [mm]	W6500×D8500×H3000 [mm]
重量	设备本体　约2.3t 电源控制柜　约2t	设备本体　约3.2t 电源控制柜　约2.1t	设备本体　约4.5t 电源控制柜　约2.3t	设备本体　约10.8t 电源控制柜　约2t
可选	蒸发源挡板溅射蒸発源	防尘室蒸发源挡板溅射蒸発源	蒸发源挡板溅射蒸発源	蒸发源挡板溅射蒸発源

典型的涂层特性

膜種	TiN	TiCN	TiAlN	CrN	AlCrN	DLC
膜種	氮化钛	碳氮化钛	氮化钛铝	氮化铬	氮化铬铝	类金刚石

颜色	金色	灰色～紫色	紫色	银色	黑灰色	黑色
膜厚(μm)	2～4	2～4	2～4	2～4	2～4	0.1～20
维氏硬度(Hv25gf)	1800～2200	2000～3000	2000～3000	1200～2200	2000～2500	15～70 (GPa)
耐磨性	〇	◎高负荷滑动环境	◎高温切削环境	◎高负荷滑动环境	◎高温切削环境	◎滑动环境
耐热性（℃）	600	500	800	800	900	450
处理温度（℃）	400～480	400～480	400～480	400～480	400～480	150～300
应用示例	一般切削工具通用模具	冲头/冲模滑动件	高速切削工具高温模具	机械部件·发动机部件镀铬替代品	高速切削工具高温模具	机械部件·发动机部件切割工具
膜的特点	通用膜	低摩擦系数高硬度	高温抗氧化性	耐磨性耐热性	高温抗氧化性	低摩擦系数高硬度