High End ModeliDS®-1000
iDS®-1000具有出色的多功能性，
是iDS系列的高端机。
先进的涂层系统iDS®-1000是iDS®系列中用于批量生产的容量最大的设备。
- 它具有出色的多功能炉腔设计。
- 在八角形炉腔的七个侧面上可以安装各种等离子体源。
- 采用矩形法兰，可以安装传统的2S蒸发源，还可以安装溅射蒸发源。
- 采用高输出功率的加热器，大幅缩短基材加热时间。
- 成膜区域大，生产成本低。
- 是能够处理大型模具或一次性处理大量基材的大型量产设备。
- 采用蒸发源挡板可以防止停机时靶材表面受到污染。（可选）
标准规格
| 先进的涂层系统 iDS®-1000 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐涂层区域 | φ1000×H1000[mm] | 蒸发源数量 | 12个(可扩展) |
| 附带台车 | 14轴自公转夹具 | 成膜方法 | 阴极电弧离子镀 |
| 基材蚀刻方法 | 气体轰击、金属轰击 | 可安装的蒸发源 | 2S蒸发源、STEER-ONE蒸发源、溅射蒸発源 |
| 炉门数量 | 2个 | 气体系统 | 4个标准气体系统 |
| 加热器 | 标准设备 | 温度监控器 | 标准设备（3处热电偶测量点） |
| 主排气泵 | 2个涡轮分子泵 | 推荐安装空间 | W6500×D8500×H3000[mm] |
| 重量 | 设备本体 约10.8t 电源控制柜 约2t |
可选 | 蒸发源挡板 溅射蒸発源 |
可安装蒸发源列表
| 设备＼蒸发源 | 2S蒸发源 | 2SD蒸发源 | 3S蒸发源 | Thin3S蒸发源 | STEER-ONE蒸发源 | MFA蒸发源 | 溅射源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| iDS®-1000 | 〇 | × | × | 〇 | 〇 | × | 〇 |
可选
我们根据客户的要求准备了各种可选功能。
例如，当您购买设备时，我们会制造与您的基材相匹配的夹具或根据您的需求进行设备改造等，即使在您购买后也请随时与我们联系。
- 报警邮件发送功能
- 远程监控功能
- 远程诊断
ITF精细涂层设备的优势
我们自1985年起一直致力于开发利用电弧放电的成膜设备。以我们的技术优势--高电压技术、真空技术为基础，应用多年研究开发的技术，提供具有薄膜平滑性等高性能和卓越性价比的设备。
01
精细涂层的光滑性
保持生产力的同时，最大限度地减少电弧放电中液滴的产生和附着，从而能够形成具有高耐磨性的高质量薄膜。
我们准备了各种涂层的成膜样品，如果您愿意，我们会在您申请后将样品寄给您。
03
合理的价格
我们的设备是在我们位于京都市的工厂以ISO9001体系为基础，通过严格的质量标准审查生产制造的。 主要零件大部分是日本制造且在我们公司内部制造，另外，我们通过与客户进行直接交易，能够以比其他公司更合理的价格提供设备。
