典型的涂层特性

金属氮化物是使用电弧放电的硬质涂层的主流。因为基体具有导电性，通过对其施加负电压，等离子体可以在负偏压作用下形成硬质薄膜。薄膜的特性取决于所选的金属靶材，各自有其最佳用途。通常薄膜厚度约为3微米，具有一定的耐磨属性。

膜种	TiN	TiCN	TiAlN	CrN	AlCrN	DLC
膜种	氮化钛	碳氮化钛	氮化钛铝	氮化铬	氮化铬铝	类金刚石

颜色	金色	灰色～紫色	紫色	银色	黑灰色	黑色
膜厚（μm）	2～4	2～4	2～4	2～4	2～4	0.1～20
维氏硬度(Hv25gf)	1800～2200	2000～3000	2000～3000	1200～2200	2000～2500	15～70 (GPa)
耐磨性	〇	◎高负荷滑动环境	◎高温切削环境	◎高负荷滑动环境	◎高温切削环境	◎滑动环境
耐热性（℃）	600	500	800	800	900	450
处理温度（℃）	400～480	400～480	400～480	400～480	400～480	150～300
应用示例	一般切削工具通用模具	冲头/冲模滑动件	高速切削工具高温模具	机械部件·发动机部件镀铬替代品	高速切削工具高温模具	机械部件·发动机部件切割工具
膜的特点	通用膜	低摩擦系数高硬度	高温抗氧化性	耐磨性耐热性	高温抗氧化性	低摩擦系数高硬度