M系列的特点
M系列是至今为止得到多方信赖的阴极电弧离子镀设备，使用我们独有的光滑涂层技术涂覆陶瓷薄膜进行表面改性，实现了优异的涂层质量和高生产率。
短周期
通过高密度等离子体的电弧法，实现了高速处理和高结合力。在多元素复合膜中，设计紧凑的2SD蒸发源发挥了其特点， 实现了短周期和低成本化。
可形成光滑薄膜的蒸发源
采用我们独有的技术，成功地抑制了液滴，同时保持了高生产率，大大提高了薄膜的光滑性、结合力、耐磨性等。
多元素复合膜、多层膜
采用我们独有的双靶法（2SD蒸发源），可以在短时间内轻松形成各种多元素复合膜和多层膜。这有助于用户独自开发特定的膜。
运营成本低
通过优化的设备配置和工艺程序，可以在短时间内形成膜厚均匀性极佳的薄膜。通过提高靶材的使用效率实现了低运营成本。
可操作性和可维护性
只需一个按钮就可以轻松的进行真空排气 ⇒ 成膜 ⇒ 冷却 ⇒ 大气开放的全自动处理。 丰富的数据管理功能和自我诊断功能，轻松进行运行管理。采用易于取放的2面大型炉门，便于维护。
信赖、安全性和灵活性
结合多年的实际经验，我们实现了高度信赖并确保了安全性。另外，将来蒸发源的版本升级等我们也会灵活应对。
可选的电弧蒸发源变化
2S蒸发源
以蒸发源为中心
总控制
- 最佳磁场控制
- 精确的气氛控制
- 靶材温度控制
- 100%发挥上述电弧蒸发源性能的成膜工艺的概率
2SD蒸发源
通过切换靶材
实现了多层膜的高速涂覆
3S蒸发源
实现了高磁场重熔
电磁线圈产生高磁场，重熔被电弧蒸发的金属，以减小大颗粒的尺寸。
M系列设备型号和标准规格
| M500C | M500D | M720E | MF720 | |||||||||
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| 设备型号 | M500C-600 | M500C-060 | M500C-303 | M500D-800 | M500D-080 | M500D-404 | M720E-A00 | M720E-0A0 | M720E-505 | MF720 | ||
| 推荐涂层区域 | φ500×H400[mm] | φ500×H600[mm] | φ720×H800[mm] | φ720×H800[mm] | ||||||||
| 蒸发源数量 | 6units | 8units | 10units | 5units | ||||||||
| 蒸发源结构 | 2S×6 | 3S×6 | 2S×3 2SD×3 |
2S×8 | 3S×8 | 2S×4 2SD×4 |
2S×10 | 3S×10 | 2S×5 2SD×5 |
MF蒸发源×5 | ||
| 附带台车 | 8轴自公转夹具 | 8轴自公转夹具 | 12轴自公转夹具 | 12轴自公转夹具 | ||||||||
| 成膜方法 | 阴极电弧离子镀 | |||||||||||
| 基材蚀刻法 | 气体轰击、金属轰击 | |||||||||||
| 靶材尺寸 | φ64Xt32 | |||||||||||
| 炉门数量 | 2个 | |||||||||||
| 气体系统 | 4个标准气体系统 | |||||||||||
| 加热器 | 标准设备 | |||||||||||
| 温度监控器 | 标准设备（2处热电偶测量点） | 标准设备（3处热电偶测量点） | ||||||||||
| 主排气泵 | 涡轮分子泵 | |||||||||||
| 推荐安装空间 | W4500×D5300×H3000[mm] | W4500×D5300×H3000[mm] | W5000×D6500×H3000[mm] | W5000×D6500×H3000[mm] | ||||||||
典型的涂层特性
| 膜种 | TiN | TiCN | TiAlN | CrN | AlCrN | DLC |
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| 氮化钛 | 碳氮化钛 | 氮化钛铝 | 氮化铬 | 氮化铬铝 | 类金刚石 | |
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| 颜色 | 金色 | 灰色～紫色 | 紫色 | 银色 | 黑灰色 | 黑色 |
| 膜厚(μm) | 2～4 | 2～4 | 2～4 | 2～4 | 2～4 | 0.1～20 |
| 维氏硬度(Hv25gf) | 1800～2200 | 2000～3000 | 2000～3000 | 1200～2200 | 2000～2500 | 15～70 (GPa) |
| 耐磨性 | 〇 | ◎高负荷滑动环境 | ◎高温切削环境 | ◎高负荷滑动环境 | ◎高温切削环境 | ◎滑动环境 |
| 耐热性（℃） | 600 | 500 | 800 | 800 | 900 | 450 |
| 处理温度（℃） | 400～480 | 400～480 | 400～480 | 400～480 | 400～480 | 150～300 |
| 应用示例 | 一般切削工具 通用模具 |
冲头/冲模 滑动件 |
高速切削工具 高温模具 |
机械部件·发动机部件 镀铬替代品 |
高速切削工具 高温模具 |
机械部件·发动机部件 切割工具 |
| 膜的特点 | 通用膜 | 低摩擦系数 高硬度 |
高温抗氧化性 | 耐磨性 耐热性 |
高温抗氧化性 | 低摩擦系数 高硬度 |
※ 通过不同的靶材种类和排列，还可以形成其他各种不同的膜。
