Middle range ModelM720E
大型のコーティングゾーンを有しており、
部品などの量産に向いたモデル
アドバンスコーティングシステムM720Eはセラミックス薄膜のコーティングによる表面改質に、独自のスムースコーティングテクノロジーを駆使した、 優れた膜質と高い生産性を実現する陰極アーク式イオンプレーティング装置です。
- 低温コーティングに適した2S,2SD蒸発源を始めとして、多彩な蒸発源の搭載が可能。
- 丸型の蒸発源フランジを採用し、2SD蒸発源による多彩な多元素複合膜や積層膜が成膜可能。
- 八角形チャンバーを採用し、各種プラズマ機器を搭載。
- 各ユニットへのアクセス性が良く優れたメンテナンス性。
- ロングセラーモデルで出荷実績が多数。
標準仕様
| M720E | |||
|---|---|---|---|
| 推奨コーティングゾーン | φ720×H800[mm] | 蒸発源数 | 10units |
| 付属治具テーブル | 12軸自公転治具 | 成膜方式 | 陰極アーク式イオンプレーティング |
| 基材エッチング方式 | ガスボンバード、メタルボンバード | 対応蒸発源ユニット | 2S×10、3S×10、2S×5、2SD×5 |
| 扉数 | 2ドア | ガス系統 | 標準4系統 |
| ヒーター | 標準装備 | 温度モニター | 標準装備（熱電対計測2か所） |
| 主排気ポンプ | ターボ分子ポンプ | 推奨設置スペース | W5000×D6500×H3000[mm] |
| 重量 | 装置本体 約4.0t 制御盤 約0.6t 電源盤 約2.8t |
オプション | - |
蒸発源対応実績表
| 装置＼蒸発源 | 2S蒸発源 | 2SD蒸発源 | 3S蒸発源 | 薄型3S蒸発源 | ステアワン蒸発源 | MFA蒸発源 | スパッタ源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M720E | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | △ | × | 〇 |
アフターサポート
お客様にご購入いただいた装置が常に安定稼働し性能を維持できるよう、点検診断・パーツ交換・出張対応・オーバーホール等のサポートを提供しています。
- リモートサポート対応
- オンサイトサポート対応
- 代替機貸し出しサービス
- 技術サポート
- 定期点検、オーバーホールPDF
- センドバックオーバーホール
オプション
お客様の要望に応じた、様々なオプション機能を準備しております。
例えばお客様の基材に合った治具の製作、 お客様の要望に応えた装置の改造等、装置をご購入される際、ご購入された後もお気軽にお声がけください。
- アラームメール送信機能
- リモート監視機能
- リモート診断
ITFファインコーティング装置のアドバンテージ
当社は1985年からアーク放電を利用した成膜装置の開発に取り組んできました。当社技術の根源である高電圧技術・真空技術を基礎として、長年の研究開発によって生み出された技術を適用し、膜の平滑性をはじめとする各種性能が高く、またコストパフォーマンスに優れた装置をご提供しています。
01
膜の平滑性が優秀
生産性を維持した上で、アーク放電で見られるドロプレットの発生・付着を極力減らし、耐摩耗性の高い高品質な成膜ができます。
各種膜の成膜見本をご用意しておりますので、ご希望の方はお申込みいただければ送付させていただきます。
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リーズナブルな価格
当社製装置は、京都市の工場で、ISO9001システムの基、厳格な品質基準で１台１台製造しています。 主要パーツは全て日本製で製造の大部分を社内で実施し、またお客様との直接取引を基本とする事で他社よりもリーズナブルな価格で装置を提供できています。
