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装置紹介
   
   iDS®シリーズ               Mシリーズ
  • iDS®シリーズ
    アドバンスドコーティングシステム iDS®シリーズは、PVD装置の新たなラインナップとして、ステアワン蒸発源を採用しさらに優れた膜質と成膜時間、成膜コストの大幅な短縮を実現した最新機種です。
  • Mシリーズ
    セラミックス薄膜のコーティングによる表面改質に、独自のスムースコーティングテクノロジーを駆使した、 優れた膜質と高い生産性を実現し、今まで多くの信頼を得てきた実績のある陰極アーク式イオンプレーティング装置です。
ステアワン蒸発源
新開発のアーク蒸発源は、カソード材料をφ160×t12のサイズまで大型化し、広い面積を効率よく消耗させるため、 磁石を回転させる独自の構造となっています(特許登録済み)。この磁石の回転でアークスポットを強制的にスキャンし、より広いターゲットの消耗分布を可能にし、劇的な面粗度の向上を実現しました。 また、当社従来型蒸発源と比較し、同じ成膜条件において23%成膜速度が高く、広い放射角度に対応して広い範囲の成膜エリアをカバーする事が可能です。
ステアワン蒸発源による面粗度の向上
AlCrN膜での比較
         
  当社:従来蒸発源              ステアワン蒸発源
従来の蒸発源
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