代表的なコーティング膜特性

アーク放電を利用した硬質膜は、主に金属の窒化物が主流です。これらは導電性があるため、基材にマイナスの電圧をかけることで、プラズマからのイオンの作用で硬い膜が生成できます。金属に何を選ぶかによって膜の特性が変化し、それぞれに最適な用途が分かれます。一般的には、膜厚は３ミクロン程度で物理的な耐摩耗性を発揮します。

膜種	TiN	TiCN	TiAlN	CrN	AlCrN	DLC
膜種	窒化チタン	炭窒化チタン	窒化チタンアルミ	窒化クロム	窒化アルミクロム	ダイヤモンドライクカーボン

色	金色	灰色～紫色	紫色	銀色	黒灰色	黒色
膜厚（μm）	2～4	2～4	2～4	2～4	2～4	0.1～20
ビッカース硬度(Hv25gf)	1800～2200	2000～3000	2000～3000	1200～2200	2000～2500	15～70 (GPa)
耐摩耗性	〇	◎高荷重滑り環境	◎高温切削環境	◎高荷重滑り環境	◎高温切削環境	◎すべり環境
耐熱性（℃）	600	500	800	800	900	450
処理温度（℃）	400～480	400～480	400～480	400～480	400～480	150～300
用途例	一般切削工具汎用金型	パンチ／ダイ摺動部品	高速切削工具高温金型	機械部品・エンジン部品 Crメッキ代替	高速切削工具高温金型	機械部品・エンジン部品切削工具
膜の特徴	汎用膜	低摩擦係数高硬度	高温耐酸化性	耐摩耗性耐熱性	高温耐酸化性	低摩擦係数高硬度