セラミックコーティング受託加工サービス
技術情報
iDS®-mini
アドバンスドコーティングシステム iDS®-miniは、iDS®-500を性能はそのままで小型化することにより、さらなる低コスト、短サイクルのコーティング処理を可能とした、小規模生産・研究
開発用の次世代アークイオンプレーティング装置です。iDS®-miniの特長
- 低コストの実現
蒸発源の少なさ、小型化により、装置コストを抑えました。 - 短サイクルの実現
その小ささにより、排気時間の短縮を実現しました。 - 生産規模の変化にも対応
装置導入時に、生産規模に合わせた最小限の蒸発源の搭載数にできるため初期投資を抑えることができます。また、生産規模の変化等に応じて蒸発源を増設することができます。
標準仕様
| アドバンスドコーティングシステム iDS®-mini | |||
| 装置型式 | iDS®-mini | ||
| 推奨 コーティングゾーン |
(1段仕様) φ450×H180[mm] (2段仕様) φ450×H420[mm] |
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| 蒸発源数 | 3 units or 6 units | ||
| 付属治具テーブル | 6軸公転治具 | ||
| 成膜方式 | 陰極アーク式イオンプレーティング | ||
| 基材エッチング方式 | ガスボンバード、メタルボンバード | ||
| 対応蒸発源ユニット | 2S蒸発源,ステアワン蒸発源,スパッタ蒸発源 | ||
| 扉数 | 2ドア | ||
| ガス系統 | 標準4系統 | ||
| ヒーター | 標準装備 | ||
| 温度モニター | 標準装備（熱電対計測2か所） | ||
| 主排気ポンプ |
ターボ分子ポンプ | ||
| 推奨設置スペース | W3500×D5200×H3000 [mm] | ||
| 重量 | 装置本体 約2.3t 電源制御盤 約2t |
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| オプション | 蒸発源シャッター スパッタ蒸発源 |
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