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iDS®-720
アドバンスドコーティングシステム iDS®-720は、高性能アーク蒸発源ステアワンを搭載し、平滑で密着性、均一性の良い被膜を短時間で成膜できます。
大型金型の処理や、一度に大量の基材を処理できるように、使い勝手の良いサイズで大型化しました。
iDS®-720の特長
  • 大容量の実現
    縦方向有効範囲800㎜に対して、チャンバー内寸高さを1400㎜と、従来よりも100㎜余裕を持たせた設計。コーティング範囲をより有効に使えます。
  • 高荷重への対応
    搭載可能基材重量は約700kgで、ハイパワーヒーターも設置しており、大型の金型も処理可能です。
標準仕様
  アドバンスドコーティングシステム iDS®-720
装置型式 iDS®-720
推奨コーティングゾーン φ720×H800[mm]
蒸発源数 12units(標準) 
付属治具テーブル 12軸自公転治具
成膜方式 陰極アーク式イオンプレーティング 
基材エッチング方式 ガスボンバード、メタルボンバード 
 対応蒸発源ユニット 2S蒸発源,ステアワン蒸発源,スパッタ蒸発源
扉数 2ドア
ガス系統 標準4系統
ヒーター 標準装備
温度モニター 標準装備(熱電対計測3か所)
主排気ポンプ
ターボ分子ポンプ
推奨設置スペース W4500×D7000×H3000 [mm]
重量 装置本体 約4.5t
電源制御盤 約2.3t
オプション  蒸発源シャッター
スパッタ蒸発源
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