セラミックコーティング受託加工サービス
技術情報
iDS®-720
アドバンスドコーティングシステム iDS®-720は、高性能アーク蒸発源ステアワンを搭載し、平滑で密着性、均一性の良い被膜を短時間で成膜できます。大型金型の処理や、一度に大量の基材を処理できるように、使い勝手の良いサイズで大型化しました。
iDS®-720の特長
- 大容量の実現縦方向有効範囲800㎜に対して、チャンバー内寸高さを1400㎜と、従来よりも100㎜余裕を持たせた設計。コーティング範囲をより有効に使えます。
- 高荷重への対応搭載可能基材重量は約700kgで、ハイパワーヒーターも設置しており、大型の金型も処理可能です。
標準仕様
| アドバンスドコーティングシステム iDS®-720 | |||
| 装置型式 | iDS®-720 | ||
| 推奨コーティングゾーン | φ720×H800[mm] | ||
| 蒸発源数 | 12units（標準） | ||
| 付属治具テーブル | 12軸自公転治具 | ||
| 成膜方式 | 陰極アーク式イオンプレーティング | ||
| 基材エッチング方式 | ガスボンバード、メタルボンバード | ||
| 対応蒸発源ユニット | 2S蒸発源,ステアワン蒸発源,スパッタ蒸発源 | ||
| 扉数 | 2ドア | ||
| ガス系統 | 標準4系統 | ||
| ヒーター | 標準装備 | ||
| 温度モニター | 標準装備（熱電対計測3か所） | ||
| 主排気ポンプ |
ターボ分子ポンプ | ||
| 推奨設置スペース | W4500×D7000×H3000 [mm] | ||
| 重量 | 装置本体 約4.5t 電源制御盤 約2.3t |
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| オプション | 蒸発源シャッター スパッタ蒸発源 |
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