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iDS®-500
アドバンスドコーティングシステム iDS®-500 は、iDS®シリーズの基本となる次世代アークイオンプレーティング装置です。
iDS®-500の特長
  • 大幅なサイクルタイム短縮を実現
    高パワーヒーターにより短時間で基材やチャンバー内部を加熱することで水分排出を促進し、大型のターボ分子ポンプとコンダクタンスの高い排気ラインの採用により短時間で真空引きが完了します。 またコーティング処理の各ステップを短縮化したことにより、約40%と大幅なサイクルタイム短縮が達成できました。(当社従来比)
  • ダスト対策(オプション)
    コーティング装置は、ピンホール不良などの対策のためダストの少ない環境に設置されますが、チャンバー扉を開放した際に装置自身でダストを設置場所全体に拡散させてしまう欠点がありました。 これを防止するため背面扉側にブースを設置し、チャンバー開放時にはブロアーによりブース内部を負圧にし、ダストの拡散を防止します。 ブロアーから排出される空気はHEPAフィルターで清浄化しその場所に戻すため、空調コストの増大が抑えられます。
  • フルカバースタイルで静粛性・安全性を向上
    真空ポンプをカバー内部に収納することで、設置環境の静粛性を向上しました。 またアーク蒸発源の荷電部や配線類をカバーで覆い、インターロックを付与することで安全性も向上しました。
標準仕様
  アドバンスドコーティングシステム iDS®-500
装置型式 iDS®-500
推奨コーティングゾーン φ500×H500[mm]
蒸発源数 9units(標準)、12units(最大) 
付属治具テーブル 8軸自公転治具
成膜方式 陰極アーク式イオンプレーティング 
基材エッチング方式 ガスボンバード、メタルボンバード 
 対応蒸発源ユニット 2S蒸発源,ステアワン蒸発源,スパッタ蒸発源
扉数 2ドア
ガス系統 標準4系統
ヒーター 標準装備
温度モニター 標準装備(熱電対計測3か所)
主排気ポンプ
ターボ分子ポンプ
推奨設置スペース W5500×D6300×H3000 [mm]
重量 装置本体 約3.2t
電源制御盤 約2.1t
オプション  ダスト飛散防止ブース
蒸発源シャッター
スパッタ蒸発源
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