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iDS®-1000
アドバンスドコーティングシステム iDS®-1000は、 iDS®シリーズの中で最も容量の大きい大量生産用の装置です。
iDS®-1000の特長
  • 大容量の成膜範囲
    大量生産に対応するべく、成膜有効範囲を縦横共に1000mを達成し、大きな基材及び一度に大量の基材への成膜を可能にしました。
  • メンテナンス性
    超大型チャンバーながら、架台高さを最低限に抑え、チャンバー内へのアクセスを容易にしています。
標準仕様
  アドバンスドコーティングシステム iDS®-1000
装置型式 iDS®-1000
推奨コーティングゾーン φ1000×H1000[mm]
蒸発源数 12units(拡張可能) 
付属治具テーブル 14軸自公転治具
成膜方式 陰極アーク式イオンプレーティング 
基材エッチング方式 ガスボンバード、メタルボンバード 
 対応蒸発源ユニット 2S蒸発源,ステアワン蒸発源,スパッタ蒸発源
扉数 2ドア
ガス系統 標準4系統
ヒーター 標準装備
温度モニター 標準装備(熱電対計測3か所)
主排気ポンプ
ターボ分子ポンプ 2台
推奨設置スペース W6500×D8500×H3000 [mm]
重量 装置本体 約10.8t
電源制御盤 約2t
オプション  蒸発源シャッター
スパッタ蒸発源
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