セラミックコーティング受託加工サービス
技術情報
iDS®-1000
アドバンスドコーティングシステム iDS®-1000は、
iDS®シリーズの中で最も容量の大きい大量生産用の装置です。iDS®-1000の特長
- 大容量の成膜範囲
大量生産に対応するべく、成膜有効範囲を縦横共に1000ｍを達成し、大きな基材及び一度に大量の基材への成膜を可能にしました。 - メンテナンス性 超大型チャンバーながら、架台高さを最低限に抑え、チャンバー内へのアクセスを容易にしています。
標準仕様
| アドバンスドコーティングシステム iDS®-1000 | |||
| 装置型式 | iDS®-1000 | ||
| 推奨コーティングゾーン | φ1000×H1000[mm] | ||
| 蒸発源数 | 12units（拡張可能) | ||
| 付属治具テーブル | 14軸自公転治具 | ||
| 成膜方式 | 陰極アーク式イオンプレーティング | ||
| 基材エッチング方式 | ガスボンバード、メタルボンバード | ||
| 対応蒸発源ユニット | 2S蒸発源,ステアワン蒸発源,スパッタ蒸発源 | ||
| 扉数 | 2ドア | ||
| ガス系統 | 標準4系統 | ||
| ヒーター | 標準装備 | ||
| 温度モニター | 標準装備（熱電対計測3か所） | ||
| 主排気ポンプ |
ターボ分子ポンプ 2台 | ||
| 推奨設置スペース | W6500×D8500×H3000 [mm] | ||
| 重量 | 装置本体 約10.8t 電源制御盤 約2t |
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| オプション | 蒸発源シャッター スパッタ蒸発源 |
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