English     中文  .
Mシリーズ
セラミックス薄膜のコーティングによる表面改質に、独自のスムースコーティングテクノロジーを駆使した、 優れた膜質と高い生産性を実現する陰極アーク式イオンプレーティング装置です。
装置の特長
  • 優れた生産性、豊富な装置バリエーション
  • スムース蒸発源
  • ドロップレットを低減
  • 多元系複合膜、積層膜の生成が可能
  • 自動システムによる簡単運用
  • ショートサイクル
  • 低ランニングコスト
  • データ管理機能
  • 信頼性、安全性、柔軟性
  • 操作性、メンテナンス性
  • 安心のサポート
成膜可能な膜種
TiN、TiCN、TiAlN、CrN、その他
用途
切削工具、金型、自動車部品、機械部品、装飾、その他
選択可能なアーク蒸発源バリエーション
ラインナップと標準仕様
  M500C M500D M720E
装置型式 M500C
-600
M500C
-060
M500C
-303
M500D
-800
M500D
-080
M500D
-404
M720E
-A00
M720E
-0A0
M720E
-505
推奨
コーティングゾーン
φ500×H400[mm] φ500×H600[mm] φ720×H800[mm]
蒸発源数 6units 8units 10units
蒸発源
ユニット
構成
2S×6 3S×6 2S×3
2SD×3
2S×8 3S×8 2S×4
2SD×4
2S×10 3S×10 2S×5
2SD×5
付属治具テーブル 8軸自公転治具 12軸自公転治具
成膜方式 陰極アーク式イオンプレーティング
基材エッチング方式 ガスボンバード、メタルボンバード
カソードサイズ φ60×t32[mm]
扉数 2ドア
ガス系統 標準4系統
ヒーター 標準装備
温度
モニター
標準装備(熱電対計測2か所)
主排気
ポンプ
ターボ分子ポンプ
推奨
設置
スペース
W4500×D5300×H3000[mm] W5000×D6500×H3000[mm]
お問い合わせ
お問い合わせについて
保守サービス、治具開発、膜開発などの受託、共同開発等のご相談も承りますので、お問い合わせください。