セラミックコーティング受託加工サービス
技術情報
Mシリーズ
セラミックス薄膜のコーティングによる表面改質に、独自のスムースコーティングテクノロジーを駆使した、
優れた膜質と高い生産性を実現する陰極アーク式イオンプレーティング装置です。
装置の特長
- 優れた生産性、豊富な装置バリエーション
- スムース蒸発源
- ドロップレットを低減
- 多元系複合膜、積層膜の生成が可能
- 自動システムによる簡単運用
- ショートサイクル
- 低ランニングコスト
- データ管理機能
- 信頼性、安全性、柔軟性
- 操作性、メンテナンス性
- 安心のサポート
成膜可能な膜種
TiN、TiCN、TiAlN、CrN、その他
用途
切削工具、金型、自動車部品、機械部品、装飾、その他
選択可能なアーク蒸発源バリエーション
ラインナップと標準仕様
| M500C | M500D | M720E | |||||||
| 装置型式 | M500C -600 |
M500C -060 |
M500C -303 |
M500D -800 |
M500D -080 |
M500D -404 |
M720E -A00 |
M720E -0A0 |
M720E -505 |
| 推奨 コーティングゾーン |
φ500×H400[mm] | φ500×H600[mm] | φ720×H800[mm] | ||||||
| 蒸発源数 | 6units | 8units | 10units | ||||||
| 蒸発源 ユニット 構成 |
2S×6 | 3S×6 | 2S×3 2SD×3 |
2S×8 | 3S×8 | 2S×4 2SD×4 |
2S×10 | 3S×10 | 2S×5 2SD×5 |
| 付属治具テーブル | 8軸自公転治具 | 12軸自公転治具 | |||||||
| 成膜方式 | 陰極アーク式イオンプレーティング | ||||||||
| 基材エッチング方式 | ガスボンバード、メタルボンバード | ||||||||
| カソードサイズ | φ60×t32[mm] | ||||||||
| 扉数 | 2ドア | ||||||||
| ガス系統 | 標準4系統 | ||||||||
| ヒーター | 標準装備 | ||||||||
| 温度 モニター |
標準装備（熱電対計測2か所） | ||||||||
| 主排気 ポンプ |
ターボ分子ポンプ | ||||||||
| 推奨 設置 スペース |
W4500×D5300×H3000[mm] | W5000×D6500×H3000[mm] | |||||||
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