M500C | M500D | M720E | |||||||
装置型式 | M500C -600 |
M500C -060 |
M500C -303 |
M500D -800 |
M500D -080 |
M500D -404 |
M720E -A00 |
M720E -0A0 |
M720E -505 |
推奨 コーティングゾーン |
φ500×H400[mm] | φ500×H600[mm] | φ720×H800[mm] | ||||||
蒸発源数 | 6units | 8units | 10units | ||||||
蒸発源 ユニット 構成 |
2S×6 | 3S×6 | 2S×3 2SD×3 |
2S×8 | 3S×8 | 2S×4 2SD×4 |
2S×10 | 3S×10 | 2S×5 2SD×5 |
付属治具テーブル | 8軸自公転治具 | 12軸自公転治具 | |||||||
成膜方式 | 陰極アーク式イオンプレーティング | ||||||||
基材エッチング方式 | ガスボンバード、メタルボンバード | ||||||||
カソードサイズ | φ60×t32[mm] | ||||||||
扉数 | 2ドア | ||||||||
ガス系統 | 標準4系統 | ||||||||
ヒーター | 標準装備 | ||||||||
温度 モニター |
標準装備(熱電対計測2か所) | ||||||||
主排気 ポンプ |
ターボ分子ポンプ | ||||||||
推奨 設置 スペース |
W4500×D5300×H3000[mm] | W5000×D6500×H3000[mm] |